日本に依存していた半導体素材の国産化に成功「レベルは日本より優れている」

日依存していた半導体材料の国産化に成功…「レベルより優れている」

日本からの輸入に100%依存していた半導体工程コーティング素材を政府出資の研究機関と中小企業が国産化に成功した。29日、国家核融合研究所(核融合研)は、微粉末の状態でも凝集していない溶射コーティング素材「酸化イットリウム(Y₂O₃)」を溶射コーティング専門業者セウォンハードフェイシングと初めて製造したと明らかにした。

国家核融合研究所のホン・ヨンチョル博士。[国家核融合研究所提供]

酸化イットリウムは、半導体プロセス装置に必要な素材で、これまで国内の半導体メーカーは、日本から輸入して使っている。

溶射コーティングは、粉末状態の材料を半導体部品の表面に吹き付けてコーティングする技術である。製品の耐熱・耐久性を向上させるプロセスである。

韓国で製造された酸化イットリウムは、核融合研のプラズマ技術を使い製造した。

プラズマ技術を使った粒子が細かい酸化イットリウム(左)と一般的な製品。[国家核融合研究所提供]

核融合研は韓国製の酸化イットリウムの製品レベルは日本よりも優れていると説明した。粉末同士押し出す反発力が生じ、凝集されず、流れを良くし、緻密で均一なコーティング膜を形成する粒子の大きさや流動面からも日本製を超えているということだ。

国家核融合研究所ホン・ヨンチョル博士は「プラズマ技術は、半導体工程以外にも様々な素材産業で活用することができる」とし「これを活用した素材技術の国産化の研究を継続する計画だ」と語った。

中央日報
https://news.naver.com/main/ranking/read.nhn?mid=etc&sid1=111&rankingType=popular_day&oid=025&aid=0002933351&date=20190829&type=1&rankingSeq=3&rankingSectionId=101


記事で紹介されていた団体と企業をご紹介いたします。

参考 公式サイト国家核融合研究所(英語あり) 参考 公式サイトセウォンハードフェイシング(英語あり)

日本からの輸入が100%とありますが、主に信越化学工業あたりから仕入れているのではないかと思います。リンク先を見るとイットリウムを販売しておりますし…

 

頑張って国産化につとめていただければと思います。

 

 

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